OSMS西格瑪光機XYZ三軸自動滑臺位移臺是一款適用于高剛性·高精度的測量裝置或檢查裝置用步進電機型自動平臺，軌道斷面為U字形，自重輕，剛性好。

OSMS西格瑪光機XYZ三軸自動滑臺位移臺是由西格瑪光機XY軸和Z軸直接組裝完成的組合位移臺，XY軸又是由兩個X軸組裝完成，即一個XYZ三軸的位移臺，只需2個X軸和1個Z軸即可完成組裝。

目前在售的標準型號有6款，分別為OSMS20-35(XYZ)、OSMS20-35(XYZ)-M6、OSMS20-35(XYZ)-INCH、OSMS20-85(XYZ)、OSMS20-85(XYZ)-M6、OSMS20-85(XYZ)-INCH，前三款的行程為35mm、后三款的行程為85mm，平臺面尺寸均為85*85mm，采用直徑φ6mm、導程1mm的滾珠絲杠，U型外導軌。

OSMS西格瑪光機XYZ三軸自動滑臺位移臺分辨率(整步)2μm/脈沖，分辨率(半步)1μm/脈沖，定位精度10μm<35mm行程>、20μm<85mm行程>，XY軸垂直度5μm，Z軸垂直度25μm<35mm行程>、30μm<85mm行程>。更多詳細資料>>>芬創(chuàng)商城