傾斜滑臺(tái)

傾斜滑臺(tái)是用于光學(xué)元件或樣品的調(diào)整滑臺(tái)，它具有2個(gè)或3個(gè)調(diào)整自由度。

西格瑪光機(jī)的傾斜滑臺(tái)由兩塊板面構(gòu)成，由三個(gè)點(diǎn)支持上板，其中以一點(diǎn)作為支點(diǎn)進(jìn)行傾斜調(diào)整。

·調(diào)整鈕型

沒有刻度，適合簡單的調(diào)整的情況。

·微分頭型·精密調(diào)節(jié)螺桿型

可進(jìn)行精密調(diào)節(jié)。例如，西格瑪光機(jī)AIS系列αβ軸傾斜滑臺(tái)可以提供±2°的傾斜調(diào)節(jié)范圍。

多軸滑臺(tái)

多軸滑臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多個(gè)方向的旋轉(zhuǎn)調(diào)整，從而對(duì)齊光學(xué)組件。

例如，西格瑪光機(jī)TSD系列XYZθ軸TSD直動(dòng)平臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)4個(gè)方向的調(diào)整。

X軸在水平方向上的行程為±12.5mm，Z軸在垂直方向上的行程為±10mm，θ軸可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)方向的調(diào)整，粗調(diào)范圍為360°，微調(diào)范圍為±5°。

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