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真空用超聲波驅(qū)動裝置

2020-07-28 11:06| 發(fā)布者: | 查看: |

由于真空光學(xué)實(shí)驗(yàn)環(huán)境的特殊性,其搭建光學(xué)系統(tǒng)所配置的光學(xué)元器件都必須要滿足一個(gè)條件,那就是可以在高真空環(huán)境下安全的正常的運(yùn)作,驅(qū)動裝置也不列外。

下面,芬創(chuàng)科技為大家介紹一款可以在高真空腔內(nèi)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的低釋氣超聲波驅(qū)動裝置。

真空用超聲波驅(qū)動裝置
真空用超聲波驅(qū)動裝置

·具有小型化,行程13mm,分辨率<1μm,速度可達(dá)0.5mm/sec。

·運(yùn)動部使用了高級真空油脂(BARRIERTA SUPER IS/V),盡可能的降低了外部環(huán)境對光學(xué)實(shí)驗(yàn)的影響。

·可以和位移臺或鏡架等組合使用(如需改變前端端面形狀或與真空用鏡架VMHG系列組合使用,請至芬創(chuàng)商城聯(lián)系我們)。

真空用超聲波驅(qū)動裝置根據(jù)尺寸規(guī)格的不同,分為VPKA-13ACT和VPKAS-13ACT兩個(gè)型號


VPKA-13ACT


VPKAS-13ACT

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